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1.Horos—光学粗糙度传感器。 mucY+k1>g 2.测量样本。 tZk@ RX 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 hh |'Uq3 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 &julw;E <*3wnpj_ 系统简介 L_<&oq
?$ Uk[ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Q5Y4@ .Uh-Wi[ 特征及技术参数 e 1[kgp
r&o%n5B - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 S;Lqx 5Cd - 灵敏度R_q<0.5 nm 1&i!92:E - 测量时间： < 1 s。 tCI 8 \~ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 #Ru +|KL x*}(l%[ [77]0V7 传感器： s,]6Lri `\
E-E+/.A Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 H qcXP2 cd) <t8^KE 应用： ]m=* =LLC
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： P2 !~}{- - 平面或复杂（自由形状）表面。 7EI(7:gOn - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 WxWgY}` - 机械零件。 +ulX(u(, - 汽车工业。 / (W{` RLw=y{% p
0aQNdi)b QQ:1824712522 i._d^lR\t
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