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1.Horos—光学粗糙度传感器。
5AU 3s 2.测量样本。 c@M@t0WT[ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 !H\GHA'DO] 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Y3>\;W*? Pc== ]H( 系统简介 S\gP= .G
u _=y,~s 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 k|'Mh0G0 ;tiU OixJ 特征及技术参数 r0
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f om"8iL1 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 m Xj Ljgc} - 灵敏度R_q<0.5 nm d<nB=r!* - 测量时间： < 1 s。 RNtA4rC># - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 +Q0-jS#d { ][7N p!y $VIq)s2az| 传感器： #!# X3j
vK`h; Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 j88sE MZ h xJgxM 应用： m-92G8'
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ?^4sE-C6 - 平面或复杂（自由形状）表面。 [:@?,?V\N - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 } /3pC a - 机械零件。 6'! {0 5=m - 汽车工业。 >I~z7 JS ^T6!z^g1h
8w?\_P7QA QQ:1824712522 i9U_r._qj;
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