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1.Horos—光学粗糙度传感器。 veh
5 }2 2.测量样本。 pbBoy+.> 3.钻石旋转加工表面的测量结果。
"lVqU 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ${r[!0| :%4imgY` 系统简介 c:4P%({
9Sg<K)Mc 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 dQ:cYNm `'4 )q}bB 特征及技术参数 N|Cs=-+
oh-|'5+,;h - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 w=_Jc8/. - 灵敏度R_q<0.5 nm Lxe^v/LsT - 测量时间： < 1 s。 pV\YG B+ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Va<eusl _M5%V>HO J7$_VP 传感器： u'5`[U
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c z'5iK Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 <PD?f/4 / @ 4GA^h 应用： On_@HQ/FI
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： vfc[p ^ - 平面或复杂（自由形状）表面。 kuMKX`_ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 4ne5=YY * - 机械零件。 '+y _\ - 汽车工业。 fw -\|fP :}}%#/nd
J%rP$O$ QQ:1824712522 dJuD|9R
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