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1.Horos—光学粗糙度传感器。 %I6c}*W 2.测量样本。 TbPTgE * 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 9Jhc5G 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 {E+ o+2L l^*'W(% 系统简介 ?#rej A:
,8MUTXd@ V 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 XAf,k&f3 }Kc03Ue`%e 特征及技术参数 ",gWO 8T
AqHH^adzA: - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 iO_6>&( - 灵敏度R_q<0.5 nm %qf ?_2v - 测量时间： < 1 s。 0 X"D!G): - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 "TboIABp:H XFU['BI {"x8 q 传感器： K_X10/#b&
}b5If7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ;j]-;wg-; 7 P$>T 应用： jR CG}'
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： 2!+saf^-, - 平面或复杂（自由形状）表面。 W %bzA11l - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 /T_@rm - 机械零件。 93aRW Eu3 - 汽车工业。 -U"h3Ye^ zJ2dPp~u
<.yL&$9 QQ:1824712522 LyB &u( )
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