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  • 双轴激光扫描系统的基本原理介绍

    作者:佚名 来源:本站整理 时间:2011-09-09 13:33 阅读:2257 [投稿]
    一束激光被两片扫描振镜反射,并且通过一片聚焦镜。振镜片在一个galvo-扫描器马达的带动下高速的来回延轴旋转。在大多数情况下,最高偏转角镜是+12.5°(+10°往往是一个较安全范围)入射角不能偏于45°。 在 ..
    光的衍射发生在有限的口径中,也就是光束的能量会被阻挡,即使是一束中心光束也一样。对于一束tem00光束(q=1),它在圆孔的能量损耗可以参考下面的数据:  
    a/d
    0.8
    1
    1.2
    1.4
    1.6
    1.8
    2
    loss%
    27.8
    13.5
    5.6
    1.98
    0.6
    0.15
    0.03

    表中显示,那里的扫描器口径仅限于a毫米直径, 激光光束直径d (1/e2) 必须选定一个尺寸和功率低损耗的折衷点。对于大多数的激光扫描系统来说d=a/1.4这个值可以被接受。 
    振镜的设计 
    振镜1(或者叫振镜x) 
    振镜1的宽度是由光束的直径所决定的。完整光束直径在这里是比较容易讨论的,完整的光束直径在一定程度上是任意的。 
    例如,一个系统设计师可能将df界定为激光射在有机玻璃留下的烧焦的光束直径。另外df可能被定为一个能量为99%的标准能量点,或者是限定在某个范围内,如1.4d ╟ 1.6d. 
    考虑到镜片的误差,振镜的宽w1要略微大于所选择的df的值。镜片上的最大入射角imax决定了振镜的长度。让a= (90°-imax)。当振镜的长度是l1,这里l1=w1/sina. 
    振镜2(或者叫振镜y) 
    振镜2的宽度应该等于振镜1的长度。振镜2的长度就是光束打在第二个振镜上时同s1的距离,和最大入射角q。这些镜片被制作并被镀上的特定的膜层,从而决定用于co2激光还是yag激光。他们有很高的激光损伤值, 1000w/mm的情况下光束直径是1/e2(d). 
    f-theta 的特点 
    我们将镜头描述为f-theta镜头,或者‘fq’。设计的方法是要产生一个离轴点的位置成正比的扫描角度。依次,就是要产生成正比的电压,已适用于扫描器马达。由于失真是来自于两个振镜,所以我们两个轴上的扫描器要有能够转动f-theta的特征。 
    单片式镜片设计得最好的折衷点是要同时具备最小光斑尺寸与f-θ特点。对于单片式的镜头,在f-theta特征下,误差通常是2%-3%。多片式的镜头,它的设计会更加接近f-theta的特点。f-theta特征的误差范围是<0.36%,并且只有75mmfl的微小差距。 
    镜头设计 
    所有扫描透镜设计是基于上述因素,对于典型的小型扫描器系统,光束直径的范围在10mm或是15mm,镜片的直径为48mm是比较合适的。对于光束直径是15mm,这时镜片的直径要通过s1和m2l的距离作为参数。 
    每次设计镜头旨在提供最佳性能的打标范围,最小最均匀的焦斑和在指定的光束直径和振镜位置下要具备f-theta特征。尽可能避免镜片口径和金属圆孔带来的衍射。
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