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  • 什么是三坐标光栅测量系统?

    作者:光行天下整理 来源:网络文档 时间:2024-08-20 16:44 阅读:328 [投稿]
    三坐标光栅测量系统用透明雨不透明间隔相等的线纹制成,原理是全反射或漫反射,对应光栅测量系统。

    三坐标光栅测量系统用透明雨不透明间隔相等的线纹制成,原理是全反射或漫反射,对应光栅测量系统。

    一、光栅测量系统的检测原理

    光栅上刻有等间隔排列又能透过光线的细小的狭缝,如果把这样两个光栅一个固定在三坐标测量机上(标尺光栅),一个可以随工作台运动(称为指示光栅),并使两者相互错开一个角度θ叠合在一起,在“标尺光栅”与“指示光栅”的细小狭缝相交区域,透射光可以全部通过,便形成“亮区”;而在非相交部分,由于透射光被遮挡而形成“暗区”。这样,在光栅的垂直方向上就可以形成明暗相间的条纹,这种条纹被人们称为“莫尔条纹”。 

    光栅副(标尺光栅与指示光栅)没相对移动一个栅距,莫尔条纹移动一个节距。莫尔条纹是由数百条光栅刻线共同形成的,因此它对光栅的刻线误差有平均作用,提高了位移检测精度。

    光栅测量系统在三坐标测量机中是应用最广的一种测量系统。这是因为它有许多优点,如光栅尺体积小,制造容易,安装比较方便,测量精度较高,所得到的光电信号容易细分。但在三坐标保养维护时光栅尺怕油污和灰尘,一定要注意光栅尺的保养时要注意车间要无尘,不要用手随意摸光栅尺。

    二、三坐标光栅测量系统种类

    1.三坐标光栅测量系统的种类,在玻璃的表面上制作透明与不透明间隔相等的线纹,可制成透射光栅;

    2.在金属的镜面上制成全反射或漫反射并间隔相等的线纹,称作反射光栅;

    3.也可以把线纹做成具有一定衍射角度的光栅。

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