如何对中频误差进行评估和公差分析

这些参数表示 Zernike 项在整个表面上具有约 5 微米的 RMS 误差，周期项振幅约为 0.5 微米，周期为 1 周期/毫米，或者说在整个表面有 20 个周期。

在进行公差分析之前，我们需要对公差参数进行一些调整。首先，由于我们的用户定义的中频“us_zernike+msf.dll”曲面不是TEZI支持的曲面类型之一，所以必须删除曲面1的操作数，并将其替换为TPAR。

举例来说，TPAR(1,9)指表面1的第9个参数（振幅扰动）。同理，TPAR(1,10)表示表面1的第10个参数（周期扰动）。TPAR(1,16)到TPAR(1,25)是中频曲面的Zernike项，如编辑器中所示，名义值为零或非常小，并且随着蒙特卡罗分析的每次迭代而增加。

灵敏度分析表明，上述TPAR(1,9)是影响最严重的因素之一，说明表面波纹状不规则度的幅度越大，系统的性能下降越大。我们还可以看到基于平方根和的均方根光斑半径预估值。

以RMS光斑半径为标准，优化后焦长度，蒙特卡罗循环1000次。