加州大学伯克利分校首次实现高速可编程、大阵列二维光学相控阵芯片
来自美国加州大学伯克利分校MEMS专家团队的研究成果首次实现了高速可编程、大阵列的二维光学相控阵（2-D Optical Phased Array, OPA）芯片。
 伯克利研究人员利用构建所有微处理器基本单元的成熟CMOS技术使该芯片具有可编程的功能。这意味着用户可以在芯片上预编程不同的全息图案。通过在MEMS执行器顶部堆叠160 x 160阵列的微调多晶硅移相器，研究人员能够减少光束发散并增加可分辨点的数量。这使得该芯片可以实现大视场角，构建其周围环境的高分辨率3D全息图。此外，通过使用现有的制造工艺，该芯片的制造成本相比由液晶制成的光学相控阵更低。  （a）MEMS光学相控阵的顶部光栅层；（b）底部横向梳状驱动结构的MEMS执行器；（c）顶部光栅层移相元件和MEMS执行器集成；（d）MEMS可编程二维光学相控阵芯片  MEMS二维光学相控阵的光栅横向运动
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