加州大学伯克利分校首次实现高速可编程、大阵列二维光学相控阵芯片

伯克利研究人员在原型演示中实现了55 KHz的谐振频率，对应于5.7 us的响应时间（光学相控阵将一个全息图案变为另一个全息图案所需要的时间），该响应速度几乎是传统基于液晶的光学相控阵的1000倍。通过利用封装在3.1mm x 3.2mm芯片上的25600像素大阵列，这款MEMS二维光学相控阵能够捕捉周围环境的高分辨率图像。

（a）25美分硬币上的MEMS二维光学相控阵芯片；（b）展示光学孔径的共聚焦光学显微照片；（c）MEMS二维光学相控阵芯片的扫描电子显微镜（SEM）图像；（d）单个MEMS光栅元件；（e）光栅下方的梳状驱动执行器，光栅连接在可动梳齿梁（蓝色）上；（f）氢氟酸（HF）释放前的光学相控阵元件的横截面SEM图

“能够对这些芯片进行编程，使我们可以超越光学相控阵的传统扫描应用，我们可以通过编程使这些阵列更像人眼。利用该芯片制作的激光雷达能够像人眼一样生成并感知任意图案，并可以跟踪单个对象而不仅仅是旋转扫描。”伯克利电子工程与计算机科学教授、该论文通讯作者Ming Wu教授表示。

相关论文已发表于Optica期刊，详细了解请参阅：https://doi.org/10.1364/OPTICA.6.000557 。