RSoft于表面等离子传感器之应用范例
愈来愈多以表面等离子为基础的方法，被结合至较大型的系统中以侦测多样的特性，如温度及特定化合物的存在或浓度，被应用在医疗、工业及其他领域。
 使用工具：ModePROP、MOST 诸如表面等离子子共振此类的表面现象在传感器技术中扮演十分重要的角色，因为在材料界面的电磁场行为可直接的对应到材料中的许多物理和化学特性。这种感测方式具有准确、非侵入性及可在实验室中或实验室外实时提供结果的优点。愈来愈多以表面等离子为基础的方法，被结合至较大型的系统中以侦测多样的特性，如温度及特定化合物的存在或浓度，被应用在医疗、工业及其他领域。 在各种应用中结合光学传感器，需要利用现存的半导体制造技术产生更小的传感器。而包括传感器等任一种光学装置的尺寸减少时，对于仿真软件的需求便会增加。 本范例中使用的结构基于参考文献[1]之中的描述。 结构概观 此结构由一作用如典型 Mach-Zehnder 装置的小型 SOI 波导干涉仪所组成。一金薄板嵌入波导中，研究的材料可置于薄板上方，而硅波导及氧化物缓冲层位于下方。光自 SOI 波导入射至薄板，由传输模态耦合为两个表面等离子子模态，分别位于金属薄板的两侧。由于薄板两侧的折射率差异，两模态将具不同的传播常数使路径长度不同，因而在薄板的另一端干涉形成不同的功率输出，功率输出将可对应至测试材料的折射率及检测数值。 RSoft CAD 中所呈现的结构如图一。 模拟 仿真的目标为了解功率输出与测试材料折射率间之关系，此目标可藉由MOST扫描测试的折射率范围及量测输出功率来完成。  图一、RSoft CAD 中所呈现的结构 |
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