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    [求助]如何降低薄膜吸收? [复制链接]

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    离线guji2015
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    关键词: 膜层薄膜
    做的一个氧化铪单层的材料实验,开了离子源辅助,镀出来发现膜层吸收较大。请教一下各位大佬,为降低吸收,工艺该从那些方面调整? F$Im9T6  
    :zdEq" )v  
    , 3X: )  
     
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    离线度魔银
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    只看该作者 1楼 发表于: 10-16
    1.温度是不是300度,离子源充氧过大也会吸收
    离线度魔银
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    只看该作者 2楼 发表于: 10-16
    离子源清洗,不开源镀,基板加温300℃-350℃,恒温一小时镀膜,材料充氧10sccm,此参数仅供参考
    离线度魔银
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    只看该作者 3楼 发表于: 10-16
    补充一下,速率控制在2.0A/左右