lovsilence:回复一下看看资料，一直搞不清为什么RF离子源国内做不了
(2019-02-01 14:22) 
UC 3 4AKm
@E$Pjd B5M 首先是栅网
]S~Z8T-[ 1，栅网材料现在选用的是进口材料，晶格的均匀性和内应力控制上，国内材料还达不到国外的水准。栅网使用时温度可以达到1000多度，国产材料在这种温度下很难控制变形量。而栅网的孔只要不是在一条直线上，离子输出能量和输出均匀性就会受很大影响。
YFCP'J"Z 2，即使用了进口材料，国内的机床加工精度还达不到日本的水平。
&` u<KKF6 3，只要三片栅网的孔没有对准，实际离子输出就会受影响。原厂栅网在出厂前会进行检测，然后根据结果对三片栅网进行匹配，所以一般原厂栅网输出效率能达到90%左右。国产的我乐观估计60%就不错了。
@M-+-6+ A8R}W= 其次是匹配和软件
, ]'?Gd 根据气体不同，RF射频的相位匹配很重要，这个需要根据经验进行微调。
:,=no>mMx 还有软件上需要人员进行开发。如果不是自己生产的镀膜机，和镀膜机的联动也是个问题。
Xo*=iD$Jys 所以一般是镀膜机厂家自己开发，独立开发的话，后期服务需要大量人手，其实利润不高的。
