稳定性上很难说。 4dH}g~[P9
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, =fc:6JR
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 ~7q uTp)
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, E]^5I3=O
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 ]kktoP|D
#nyv+x;
新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 #i QX6WF
&UAe!{E0
回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 "YFls#4H-
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; x_@i(oQ:_
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; toa-Wa{
机械泵和POLYCOLD的震动……