稳定性上很难说。 CjJ n
新柯隆在低端机上用过一阵子ULVAC的晶控仪, OXZx!h
后来因为软件问题,包括售出的机器全换成了INFICON的。 >]2 ^5C;
然后ULVAC的老板信誓旦旦说软件修好了,没问题了, @.pr}S/
然后又买了400多台,然后又是各种问题。 ^Zlbs
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5Hs!s+
新柯隆的利润基本上一半都花在了事后帮那帮日本人擦屁股上了。 ${`q!
6` 3kNk;
回过头来讲,晶振的原理非常清楚,做晶振一点也不难。 b(> G
难就难在抗干扰上了,加热丝开关造成的电压波动; lo36b zbT
电子枪高电压6KV~10KV;离子源的RF射频干扰; 4x.I"eW~&
机械泵和POLYCOLD的震动……