退掉的是EPD吧。 B`$L'
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 fWGOP~0
就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 k#}g,0@
1\L[i];L8
现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 pWE `x|J
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 #(LfYw.P1V
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 `A/j1UWJ
现在除了RAS机光驰都抄成功了。 'z=:[#b
'j%F]CK
我基本知道你们公司的名字了。 V2|3i}V"
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 M!M!Ni
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, ?RFg$Z'^
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) vQ@2FZzu>