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    [讨论]设备部件咨询 [复制链接]

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    只看该作者 10楼 发表于: 2017-09-02
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    jyzgxf:应该还是怕接触不好吧。就清扫频率来说,挡板一炉换,然后底板,立柱一般等机器大保养才搞。我们是一直接着那条线的。至于那个黑了对产品外观的影响,就不清楚了。 (2017-09-01 14:04)  pJ8;7u  
    z+3G zDLy  
    立柱是大维护才弄的,不过底板我们都是每4炉更换一次。你们对于外观改善这一块有没有什么好的办法。我们公司做的现在有不知道啥原因的细点,整罩下来只有一部分有。各种改善不管用啊。
    离线ouyuu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2017-09-02
    这个拆了也没关系,新柯隆镀膜机就不用。 Nf@-i`  
    离子源的离子分布基本上集中在在中心60度范围内,周边哪怕有离子电流也不大的。 (]c M ;  
    普通接触完全就可以导走,不会产生静电场。
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    只看该作者 12楼 发表于: 2017-09-03
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:这个拆了也没关系,新柯隆镀膜机就不用。 5 LX'fL7zU  
    离子源的离子分布基本上集中在在中心60度范围内,周边哪怕有离子电流也不大的。 m)1+D"z  
    普通接触完全就可以导走,不会产生静电场。 (2017-09-02 22:39)  RE<s$B$[  
    o5(~nQ  
    谢了,以后多交流,我们用光驰的机器比较多,新科伦的没有用。
    离线ouyuu
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    只看该作者 13楼 发表于: 2017-09-03
    新柯隆太贵了,而且过于保守,所以卖不动。 r7zS4;b  
    我在新柯隆从设计调去管采购,曾经做了个降成本20%的方案。 xX:N-  
    因为目标过于激进所以被日本总部没怎么讨论就否定了。 HZl//Uq  
    但其实大部分都是借鉴的光驰。 2mt S\bAF  
    dR GgiQO  
    光驰一开始全是抄的新柯隆,包括图纸上都是新柯隆的标记。 oro^'#ki  
    但是经过十几年的改进之后,现在成本上已经完胜新柯隆了。
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    只看该作者 14楼 发表于: 2017-09-03
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:新柯隆太贵了,而且过于保守,所以卖不动。 ^b&U0k$R  
    我在新柯隆从设计调去管采购,曾经做了个降成本20%的方案。 VI(2/**  
    因为目标过于激进所以被日本总部没怎么讨论就否定了。 #Nv)SCc  
    但其实大部分都是借鉴的光驰。
    ....... (2017-09-03 17:18)  bo_Tp~ j  
    Uy;e5<<  
    好像听说了,光驰的这几个创始人还有安岩的这些人以前都是在一个公司的。我们今年买了一台新科伦的结果外观做不好,又给退了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 15楼 发表于: 2017-09-04
    退掉的是EPD吧。 cIB[D.  
    EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 9`|~- b  
    就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 gK",D^6T*Y  
    up )JU [  
    现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 )^[PW&=W|x  
    增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 aC,?FWm  
    等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 ]`T*}$|  
    现在除了RAS机光驰都抄成功了。 a F5=k: k  
    O]-s(8Oo3  
    我基本知道你们公司的名字了。 _2wH4^Vb  
    RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 /PTk296@  
    (虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, Ojs ^-R_  
    像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) b X'.hHR  
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    只看该作者 16楼 发表于: 2017-09-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:退掉的是EPD吧。 {/}p"(^  
    EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 i[ 40p!~  
    就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。
    现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 1/<Z6 ?U  
    ....... (2017-09-04 17:31)  t;L7H E@Y  
    .g52p+Z#  
    嗯哼,你是不是来过我们公司啊?嘻嘻,以后多指教。光驰是以营利为目的的,而新科隆是以自身品质为主。光驰机现在一堆问题点,我们公司新买的10多台,个个都有问题。不过光驰的在性价比方面应该是比较好的。
    离线ouyuu
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    只看该作者 17楼 发表于: 2017-09-05
    没有去过,但是去你那边的人是我安排的。 xn,I<dL39  
    在新柯隆管过制造,管过服务,管过镀膜,管过采购, l$DQkbOj  
    所以后面几年基本不动手了,就是个嘴上功夫。 [E6ZmMB&  
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    只看该作者 18楼 发表于: 2017-09-05
    牛气冲天!!!!!伯恩?!!
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    只看该作者 19楼 发表于: 2017-09-06
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    ouyuu:没有去过,但是去你那边的人是我安排的。 KhZ\q|5  
    在新柯隆管过制造,管过服务,管过镀膜,管过采购, `P?!2\/  
    所以后面几年基本不动手了,就是个嘴上功夫。 grTwo  
     (2017-09-05 16:30)  sPRo=LB  
    j71RlS73  
    大拿啊。