退掉的是EPD吧。 x0d+cSw
EPD是个全新的概念,用小功率的离子源就可以做出超硬膜来。 @K/Ia!Lw
就研发实力来讲,新柯隆比光驰强太多了。 fin15k
A"'MRYT`
现在这机器问题主要是麻点,因为伞架太低了,坩埚里药物的喷溅容易飞到伞架上。 i_MI!o
增加坩埚盘和伞架的距离后会好很多,但是镀膜速率就没有设计的高了。 aI<~+ ]
等这机器整好以后,不出三年光驰肯定会推同样机型。 s*IfXv
现在除了RAS机光驰都抄成功了。 D)_Ei'+*l
U,=K_oBAq
我基本知道你们公司的名字了。 2
zy^(%a
RAS机可以做Si3N4和SiO2的膜系,如果需要做极端超硬膜的话可以买新柯隆。 Yx"z&J9p
(虽然我现在不在新柯隆了,但是我还是比较认同新柯隆的理念, qkIU>b,B
像光驰这样抄下去,研发都会死掉的。) )~/U+,