金鉴检测双束FIB提供TEM制样、FIB切割、Pt沉积和三维重构的服务

聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。为方便客户对材料进行深入的失效分析及研究，金鉴检测现推出Dual Beam FIB-SEM制样业务，并介绍Dual Beam FIB-SEM在材料科学领域的一些典型应用，包括透射电镜( TEM)样品制备，材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析。  b~Oc:  
"Sd2VSLg  
1. 设备参数 ~ ]^<*R  
ZEISSAuriga Compact   8AIAv_ g  
'cvc\=p  
   .*+e?-  
1.场发射扫描电镜（SEM）：各种材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等，放大率：12×～1000,000×；分辨率1.0nm@ 15kV；1.9 nm @ 1kV； 6x"|,,&MD0  
}d16xp  
2.X射线能谱分析仪（EDS）：材料微区成分分析；MnKa峰的半高宽优于127eV；CKa峰的版高宽优于56Ev;FKa峰的半高宽优于64eV；元素Be4-U92； 7.7Z|lJ  
5MS5 Q]/  
3.聚焦离子束系统（FIB）：材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等，放大率：300×～500,000×；分辨率2.5nm@ 30kV。   rI4N3d;C  
ej{7)#  
4.背散射电子探头（BSD）：基于不同元素衬度不同，BSD探头除了观察样品形貌衬度，同时能够实现对样品成分衬度的观察。   &-4SA j  
yMBFw:/o  
5.纳米操纵手：用于超薄样品（纳米级）固定转移及精细加工。 $/;<~Pzi  
CO.e.:h  
6.气相沉积系统（GIS）：FIB加工前为材料提供保护层，或用于材料精加工。 R4[dh.lf  
Nzel^~  
Dual BeamFIB-SEM制样： 5'"l0EuD  
FIB主要用于材料微纳结构的样品制备，包括：TEM样品制备、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等。 =.f<"P51k  
]|)M /U *  
C_ (s  
KfMaVU=4P  
=YeI,KbA)  
1.TEM样品制备 6;hZHe'W  
对比与传统的电解双喷，离子减薄方式制备TEM样品，FIB可实现快速定点制样，获得高质量TEM样品。 a$h zG-  
\C;F5AO  
案例一： S9@)4|3C|p  
s14;\  
使用Dual BeamFIB-SEM系统制备高质量TEM样品。   L$s;tJ   
hYv;*
]  
a、FIB粗加工 b5d;_-~d  
Kgu#Mi~  
`KzNBH,W  
   /2AeJH\-  
b、纳米手转移 %eLf6|1x  
e6igx  
   zHW}A `Rz  
c、FIB精细加工完成制样 :} 9Lb)Yp  
YztW1GvI  
;mLbgiqQ J  
ZsepTtY  
2.材料微观截面截取 ck\gazo~q  
SEM仅能观察材料表面信息，聚焦离子束的加入可以对材料纵向加工观察材料内部形貌，通过对膜层内部厚度监控以及对缺陷失效分析改善产品工艺，从根部解决产品失效问题。 R.B3  
   Jb"0P`senY  
案例二： Aq"<#:  
针对膜层内部缺陷通过FIB精细加工至缺陷根源处，同时结合前段生产工艺找出缺陷产生点，通过调整工艺解决产品缺陷。 agMI$  
8lcB.M  
>ISN2Kn   

`#w`-  
!BikqTM  
案例三： @I,:(<6  
产品工艺异常或调整后通过FIB获取膜层剖面对各膜层检查以及厚度的测量检测工艺稳定性。 (L7@ez  
Af{K#R8!  
mzh7E[S_,i  
t+`>zux5(T  
3.气相沉积（GIS） 8ECBi(  
FIBGIS系统搭载Pt气体，其作用除了对样品表面起到保护作用，还能根据其导电特性对样品进行加工。FIB加工前为材料提供保护层，或用于材料精加工。 !JC!GS"M5  
   ]@bu%_s"  
案例四： A~7q=
-  
纳米材料电阻无法直接进行测量，通过FIBGIS系统对其沉积Pt，将其连接到电极上进行四探针法测电阻。 >Lrud{  
!K319 eE  
p{k^)5CR/  
yM-3nwk  
4.三维重构 _/ Uer}  
FIB-SEM三维重构系统是通过FIB连续切出多个截面再通过软件将一系列2D图像转换为3D图像。 U6Ws#e  
     )>~d`_$dt  
  如有检测需求请联系邱岳18816786100 答杰13928762392  林凯旋18138729186  陈上铭18811843699，手机号即微信号。 .B|a.-oA4