膜外⽩雾 0(kp>%mbB
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 7%'<}u
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) $X?V_K;9/
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: |j+~Td3})&
① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; mvw:E_
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 d?K8Ygz
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ NWvxbv
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 9p.>L8
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 OTm`i>rB
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 n*1UNQp@]O
⑦ 膜与膜之间的应⼒ S]N4o'K}q
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 71%u|k8|
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 /[s$A?
改善对策: 87Kx7CKF"
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 '3Ri/V,
洁) kr?|>6?
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 Nm~#$orI|
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 r$7rYxFR
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 U]acm\^Z
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 l0_V-|x
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) j;3o9!.s:
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 >O _
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 (tgaH,G
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 V*aTDU%-.
膜内⽩雾 NO$Nl/XM
⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 IFY!3^;zO
可能的成因: :q=OW1^k^
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 5f5ZfK3<i
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 >W<5$ .G
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 mm 8O
④ 氧化物充氧不够。 }dz(DPd
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 <fJ\AP5
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 #5D+XB T
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 =FnZk J
⑧ 环境湿度⼤ xpM~*Gpm
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 f"Iyo:Wt
问题。 cF2/}m]
改善对策: H/$q]i*#K
㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 f/yK|[g~
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 bhmjH(.t
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ `Nn?G
燥、⼲净。 7r>W r#
㈣改善环境 W}RR_Gu
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 3fPv71NVtt
㈥改善洗净、擦拭效果。 zMKL: Um"
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) ~'3% Qr
㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) `2PT 8UM
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 r.^&%D
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。