膜外⽩雾 z#`Qfvu6Hi
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 l+&DBw[
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） Yc6.v8a
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： 7Q Ns q
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； +Tx_q1/f5X
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。
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③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ 9a+Y )?z
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 9* 3;v;F
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 {"$ [MYi:
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 - e0[$v
⑦ 膜与膜之间的应⼒ >L "+8N6
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 ]LxE#R5V
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 qgfP6W$
改善对策： hW!n"qU
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 :Sd`4"AA
洁） Y d~J(
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 `bV&n!Y_
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 r: >RH,
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 _4 nm h0q4
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 X}x\n\Z
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） h0dZr-c
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 E8nj_ ^Z
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 O/#uQn}
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 % ;u"2L0@
膜内⽩雾 GNrRc3dr$
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 v{"yrC
可能的成因： q=`n3+N_H~
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 2T?Y
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 Va l"v UZ
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 +%klS `_
④ 氧化物充氧不够。 ="vg/@.>i
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 gzKMGL?%?
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 Bv j sl
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 *[b>]GXd49
⑧ 环境湿度⼤ [\h?mlG?
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 }f}? |&q
问题。 P{QHG 3
改善对策： zAklS 7L
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 f2M*]{N
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 {{M/=WqC
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ :Ru8Nm
燥、⼲净。 w8 UUeF
㈣改善环境 B@dCCKc%/
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 ;&}z
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㈥改善洗净、擦拭效果。 !m-`~3P#l,
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） (=c,b9cb
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） @Y.r ,q
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 jC}HNiM78
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
