膜外⽩雾 uj\&-9gEi
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 Y5ei:r|^
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） dm_Pz\ *
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： A>Qu`%g*
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； 9MJ:]F5+
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 *1-0s*T
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ !S7?:MJ?p\
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ L~h:>I+pG
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 E0HE@pqr
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 /Dc54U n
⑦ 膜与膜之间的应⼒ n(LO`{
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 dtV*CX.D.7
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 G3!O@j!7w$
改善对策： Zw4%L?
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 &xUCXj2-z
洁） v5 p`=Z@%
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ldU ><xc2
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 3HR)H-@6@7
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 Q$: ,N=%
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 wNl6a9#
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） =],c$)
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 W:j9 KhvT
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 6Rif&W.x y
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 *
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膜内⽩雾 :qR8 e J
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 Q;y4yJ$wI
可能的成因： U+ Yu_=o{
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 W:WRG8 (F
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 %RwWyzm#\
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 D8B\F5..c#
④ 氧化物充氧不够。 ; %AgKg V
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 c;t3I},
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ;*nzb!u\\
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 &{wRB l #
⑧ 环境湿度⼤ =<#++;!I
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 .!2
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问题。 I:al[V2g
改善对策： o 9M r7
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 -y_q
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 wr:-n
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲
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燥、⼲净。 . W;cz8te
㈣改善环境 N`X |z
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 vz: VegS
㈥改善洗净、擦拭效果。 & 0ymAf5R
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） cFjD*r-
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） ^* y 1Fn0
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 |Q%nnN
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
