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    [求助]玻璃镀膜后膜内起白雾,跪求大神们讨论产生原因 [复制链接]

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    只看该作者 20楼 发表于: 2018-08-25
    ①DOME温度过高,可以尝试降低温度。 s q_ f[!  
    ②预清洁功率过大或时间过长,造成基板表面粗糙度增大引起发雾。 kEi!q  
    ③H4和MGF2镀增透膜的话,可以温度设定在300℃左右。
    离线dcfcwdx
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    只看该作者 21楼 发表于: 2018-08-30
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:没人觉得是散射吗? {u~JR(C:  
    问题还在结晶上,试着调整一下镀膜温度和速率,还有充氧。 9(6f:D  
    其实有离子源会更好些。 (2017-08-21 17:22)  Lcb5^e?'Q  
    |h%=a8  
    温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢,比如说冲多点氧还是少点
    离线ouyuu
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    只看该作者 22楼 发表于: 2018-09-05
    回 dcfcwdx 的帖子
    dcfcwdx:温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢,比如说冲多点氧还是少点 (2018-08-30 13:27)  )(0if0D4  
    ~UJ.A<>Fh  
    这个只有自己慢慢试。改变条件可以改变结晶大小,但是哪个更好要自己试的。
    离线dede
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    只看该作者 23楼 发表于: 2019-10-14
    问题弄好了吗?
    离线opticsrain
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    只看该作者 24楼 发表于: 2019-10-25
    起雾有时候不一定是膜的问题。玻璃基片洗不净的情况下也有可能导致起雾,玻璃认真清洁或者用手擦拭后镀膜试一下。
    离线jakzhou
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    只看该作者 25楼 发表于: 2019-11-17
    镀膜温度过高,氧化钛高温下结晶发雾!
    离线旋律
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    只看该作者 26楼 发表于: 2020-11-17
    发蒙或者发雾可以从工艺和膜料入手排查原因,如果只镀氟化镁和H4的话,问题应该在H4上面
    离线tony肖
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    只看该作者 27楼 发表于: 2021-06-29
    会不会温度过高
    离线tang714
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    只看该作者 28楼 发表于: 2021-08-17
    还有你的基底材料是什么?加了离子源没有?
    离线comebackz
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    只看该作者 29楼 发表于: 2022-11-02
    膜外⽩雾 SLKpl LO  
    现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 umIGI  
    ⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) =vbG'_[7  
    分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: dymq Z<  
    ① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; Kcm+%p^  
    ② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 rP:g`?*V  
    ③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ :j]1wp+  
    ④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 8@t8P5(vL  
    ⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 vkIIuNdDlx  
    ⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 inWLIXC,  
    ⑦ 膜与膜之间的应⼒ 'OsZD?W{  
    改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 S@/{34,  
    光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 _~z oMdT!  
    改善对策: ( zWBrCX  
    ㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 uzBQK  
    洁) ; ~pgF_  
    ㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 ~[HzGm%  
    ㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 L[x`i'0B  
    ㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 M7TLQqaF  
    ㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构  r{;NGQYs  
    ㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) P.y +jyu  
    ㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 ZwkUd-=0i  
    ㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 BpZ~6WtBq  
    ㈨ 注意polycold解冻时的真空度。  T Rv  
    膜内⽩雾 )0VL$A  
    ⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 "+(|]q"W  
    可能的成因: h p]J> i.  
    ① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 A7% d  
    ② 镜⽚表⾯腐蚀污染 P_(8+)ud-  
    ③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 50cVS)hG6d  
    ④ 氧化物充氧不够。 gJQ#j~'  
    ⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 6KMO*v  
    ⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 ^%r6+ey  
    ⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 Y4rxnXGw  
    ⑧ 环境湿度⼤ BU:;;iV8  
    改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 /eV)5`V  
    问题。 W/qXQORv  
    改善对策: I L*B@E8  
    ㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 MTu\T  
    ㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 '(.5!7?Qc  
    ㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ dKzG,/1W[m  
    燥、⼲净。 5T x4u%g  
    ㈣改善环境 .C'\U[A{  
    ㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 X q?>a+B  
    ㈥改善洗净、擦拭效果。 CD&a_-'z$K  
    ㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) Va8 }JD  
    ㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) S2$66xr#  
    ㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 bo\ bs1  
    ㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。