[求助]玻璃镀膜后膜内起白雾，跪求大神们讨论产生原因 [复制链接]

①DOME温度过高，可以尝试降低温度。 7|"gMw/  
②预清洁功率过大或时间过长，造成基板表面粗糙度增大引起发雾。 lAM"l)Ij  
③H4和MGF2镀增透膜的话，可以温度设定在300℃左右。

ouyuu:没人觉得是散射吗？ fE\;Cbi  
问题还在结晶上，试着调整一下镀膜温度和速率，还有充氧。 %n3l
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其实有离子源会更好些。 (2017-08-21 17:22)  PQmgv&!DP  

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温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢，比如说冲多点氧还是少点

dcfcwdx:温度、速率还有充氧具体要像哪个方向调节呢，比如说冲多点氧还是少点 (2018-08-30 13:27)  <$WRc\}&g  

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这个只有自己慢慢试。改变条件可以改变结晶大小，但是哪个更好要自己试的。

问题弄好了吗？

起雾有时候不一定是膜的问题。玻璃基片洗不净的情况下也有可能导致起雾，玻璃认真清洁或者用手擦拭后镀膜试一下。

镀膜温度过高，氧化钛高温下结晶发雾！

发蒙或者发雾可以从工艺和膜料入手排查原因，如果只镀氟化镁和H4的话，问题应该在H4上面

会不会温度过高

还有你的基底材料是什么？加了离子源没有？

膜外⽩雾 Hk%m`|Z  
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 ) 'x4#5]  
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） $-9m8}U(Y  
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： UahFs  
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； SlvQ)
jw%  
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 RrSo`q-h+  
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ \MM(w&  
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ +^hFs7je)  
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 eX$P k:  
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 -?n|kSHX  
⑦ 膜与膜之间的应⼒ eS9/-Y  
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 ?g2Wu0<
  
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 A][\L[8X  
改善对策： SLRQ3<0W_  
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 w~sr2;rp<  
洁）  lTsl=  
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 y8jk9Tv  
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 >_h*N
H  
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 {4tJT25  
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 *,!6#Z7  
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） bWAhK@epI  
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 1cWUPVQ  
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 :N5R.@9  
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 8E1swH5z
 
膜内⽩雾 5'gV_U  
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 ~0r:Wcj
x  
可能的成因： 1Iu^
+  
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 ;,n{6`  
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 <e|I?zI9-  
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 09pnM|8A  
④ 氧化物充氧不够。 zuR!,-W  
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 5F$ elW
 
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 GMRw+z4  
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 CGvU{n,"  
⑧ 环境湿度⼤ MHJH@$|]  
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 lw0l86^Y  
问题。 *?%DdVrO@  
改善对策： LDHu
f<`  
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 7:t+  
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 jD9^DzFx  
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ fQq'_q5  
燥、⼲净。 b_@MoL@A!  
㈣改善环境 Lh0Pvq0C  
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 *j RNpB{)z  
㈥改善洗净、擦拭效果。 $5T3JOFz  
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） Qp~O!9ph  
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） _] veTAV  
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 1foy.3g-  
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。