膜外⽩雾 SLKplLO
现象:镀膜完成后,表⾯有⼀些淡淡的⽩雾,⽤丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。 umIGI
⽤氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(⼜称:可擦拭压克) =vbG'_[7
分析:膜外⽩雾的成因较为复杂,可能的成因有: dymq
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① 膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙; Kcm+%p^
② 蒸发⾓过⼤,膜结构粗糙。 rP:g`?*V
③ 温差:镜⽚出罩时内外温差过⼤ :j]1wp+
④ 潮⽓;镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 8@t8P5(vL
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 vkIIuNdDlx
⑥ 蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀 inWLIXC,
⑦ 膜与膜之间的应⼒ 'OsZD?W{
改善思路:膜外⽩雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,⼀是把膜做的致密 S@/{34,
光滑些不容易吸附,⼆是改善环境减少吸附的对象。 _~z
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改善对策: ( zWBrCX
㈠ 改善膜系,外层加⼆氧化硅,使膜表⾯光滑,不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境(⼲燥、清 uzBQK
洁) ; ~pgF_
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应⼒。 ~[HzGm%
㈢ 改善充氧(加⼤),改善膜结构。 L[x`i'0B
㈣ 适当降低蒸发速率,改善柱状结构 M7TLQqaF
㈤ 离⼦辅助镀膜,改善膜结构 r{;NGQYs
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀(其功能是及时带⾛⽔汽) P.y +jyu
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 ZwkUd-=0i
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 BpZ~6WtBq
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 T Rv
膜内⽩雾
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⽩雾形成在膜内,⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 "+(|]q"W
可能的成因: h p]J>i.
① 基⽚脏,附着前⼯程的残留物 A7%d
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 P_(8+)ud-
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 50cVS)hG6d
④ 氧化物充氧不够。 gJQ#j~'
⑤ 基⽚进罩前(洗净后)受潮⽓污染 6KMO*v
⑥ 洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹 ^%r6+ey
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 Y4rxnXGw
⑧ 环境湿度⼤ BU:;;iV8
改善思路:基⽚本⾝的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 /eV)5`V
问题。 W/qXQORv
改善对策: IL*B@E8
㈠改进膜系,第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 MTu\T
㈡尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 '(.5!7?Qc
㈢真空室在更换护板、清洁后,最好能空罩抽真空烘烤⼀下,更换的护板等真空室部件必须⼲ dKzG,/1W[m
燥、⼲净。 5T x4u%g
㈣改善环境 .C'\U[A{
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚,免受污染。 Xq? >a+B
㈥改善洗净、擦拭效果。 CD&a_-'z$K
㈦改善膜匹配(考虑第⼀层⽤Al2O3) Va8
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㈧改善膜充氧和蒸发速率(降低) S2$66xr#
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 bo\ bs1
㈩抛光加⼯完成的光⾯,必须⽴即清洁⼲净,不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。