膜外⽩雾 iVy7elT;R
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 5A
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⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） x)rM/Kq
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： .zn ;:M#T
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； ]y ,==1To
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 ;)!Sp:mHX
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ #ZYVc| sT+
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ @> E2?C V
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 Cb9;QzBVA#
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 2Fq<*pxAY
⑦ 膜与膜之间的应⼒ Gcig*5
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 59O?_F9
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 ,0hA'cp
改善对策： +;#Y]xy:
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 DR c)iE>@
洁） 89wU -Aggq
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 ub;ZtsM,%
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 .h>8@5/s
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 bZ|FnY}FB
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 }jVSlCF@t
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） hA33K #bC
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 1$%V{4bJ
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 J,AR5@)1
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 > 3 &: 5
膜内⽩雾 ,ztI,1"k
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 n(L\||#+
可能的成因： /C4^<k\
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 Vv8jEZ8
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 ^Nmg07_R
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 'rr^2d]`ST
④ 氧化物充氧不够。 dO4{|( z
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 6Qx#%,U^ J
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 `~ * @q!
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 uU:CR>=AKW
⑧ 环境湿度⼤ FKT1fv[H
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 _ h": >
问题。 FxV Z[R
改善对策： rwG CUo6Z
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 `$B 3X
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 Wh%ucX&
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ UGuxV+Nwf
燥、⼲净。 y^}6! >Ou:
㈣改善环境 4 =Krq6{
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 kjtjw1\o
㈥改善洗净、擦拭效果。 rOR ZerM
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） Q~j`Y mR|
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） bf!M#QOk?
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 tX"Th'Qi
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
