膜外⽩雾 W4#:_R,&,
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 r2<+ =INn
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） z%AIv%
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： 6 ?a(@<k_
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； T.|0;Eb
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 i5wA=K_
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ ad~ qr n\
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ 21WqLgT3 4
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 DRzpV6s
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 JDhA{VN6
⑦ 膜与膜之间的应⼒ i ;tA<-$-
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 cj8r-Vu/N
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 CVUJ(D&Q
改善对策： Bdg*XfXXk
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 FQ87[|
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洁） /9yiMmr5W
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 J`8>QMK^5
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 Mb9q<4
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 iwVr a"y
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 y,r`8
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） ef. lM]cO
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 -'0AV,{Z
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 FlgB-qR]<n
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 i&3 0n#
膜内⽩雾 M!hby3 1
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 XVLuhw i
可能的成因： E*I]v
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 S]o
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 m@Nx`aS?
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 |HU
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④ 氧化物充氧不够。 7 E5Dz7
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 <F3sQAe
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 nSow$6T_
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 xh6x
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⑧ 环境湿度⼤ 9j2I6lGQ
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 {UmCn>c
问题。 1;xw)65
改善对策： Wu4Nq+
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 q5!l(QL.
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 )f!dG(\&#
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ 6uXW`/lvX
燥、⼲净。 ^sOm7S {
㈣改善环境 ]6;AK\9TM
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 h]MVFn{
㈥改善洗净、擦拭效果。 M$W#Q\<*#r
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） .fsk DW
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9 v
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㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 L@4zuzmlb
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
