膜外⽩雾 ]DKRug5
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 EB|
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⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） U0t|i 'Hx
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： T% %
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① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； ~Oa$rqu%m
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 3_<l`6^Ns/
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ ]!ox2m_U
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ SV@ *[r
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 Da615d
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 R\|,GZ!`+
⑦ 膜与膜之间的应⼒ .u>[m .
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 rCwE$5
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光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 hs[x\:})/
改善对策： d\u N
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 4d\^
洁） ?TeozhUY
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 5mQ@&E~#W
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 pJx7S sW
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 -=nk, cYn
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 ] L97k(:Ib
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） dzEi^*
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㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 u8T@W} FX
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 P&sWn?q Ol
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 pd:7K'yaw
膜内⽩雾 QuqznYSY{
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 OL>)SJj5
可能的成因： M#;
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① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 9Q=VRH:
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 ._^}M<o L
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 ?OLd
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④ 氧化物充氧不够。 T/\RViG3
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 rw,Ylr :3
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 Xd=KBB[r?
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 0K[]UU= P=
⑧ 环境湿度⼤
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改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 Hl`OT5 pNf
问题。 sSZ)C|Q
改善对策： ?>Sv_ 0
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 T [Zs {S
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 &J)<1!|
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ uR ?W|a
燥、⼲净。 eJ99 W=
㈣改善环境 !gve]>M
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 }:m /@LKB
㈥改善洗净、擦拭效果。 ~f h
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） QkBw59L7
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） )GkJ%o#H2
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 zMR)w77
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
