膜外⽩雾 &B6E p6QS
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 7+\+DujE$
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） J4f i'
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： vH :LQ!2
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； m}7iTDJR9
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 s~5[![1
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③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ Z{]0jhUyNh
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ nU7>u U
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 ^ hZ 0IM
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 [OC 5l>
⑦ 膜与膜之间的应⼒ x|pg"v&[
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 l1BtI_7p
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 [XEkz#{
改善对策： TFlet"ge=
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 > 7jbgHB
洁） *Q ?tl\E
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 '>-gi}z7
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 bk;?9%TW
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 a7r% X -
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 J}v}~Cv
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） 4T|b
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㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 %4et&zRC
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 pwL ;A3$|
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 +ElfZ4
膜内⽩雾 "{@A5A
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 ;z}i-cNae
可能的成因： o<BOYrS
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 k/#&qC>]
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 e7Xeo +/
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 I,>- t GK
④ 氧化物充氧不够。 &"f";
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 #@YPic"n7`
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ]O+Ma}dxz:
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 _=_Px@<Q
⑧ 环境湿度⼤ 1+szG1U=
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 b6nsg|&#
问题。 @XLy7_}
改善对策： (eI5 _`'VC
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 zi|+HM
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 ]R h#g5X
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ (G z b
燥、⼲净。 "& ])lz[u
㈣改善环境 ML w7 }[
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 q )LMm7
㈥改善洗净、擦拭效果。 fd +hA
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） ^o^H3 m
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） Oft-w)cYz,
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 v\KA'PmiP
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
