膜外⽩雾 '?.']U,: $
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 I
H#CaD
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） Lh-Y5(c
o
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： reYIF*
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； @C[ p? ak
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 daSx^/$R
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ 't a&qp
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ n.NWS/v_{
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 l]t^MEoc8
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 N`H`\+
⑦ 膜与膜之间的应⼒ eS4t0`kP
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 jG& 8`*|*
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 L">jSZW[[
改善对策： z.)*/HGJm
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 !
,H6.IH;S
洁） %cDTq&Q
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 p(4B"[ !S
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 .) %, R
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 qSD`S1 '2;
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 (Lj*FXmz
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） [GK## z'5
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 "9 hD4R
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 y!S:d
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 m8b-\^eP7
膜内⽩雾 Wq 1OY Z,
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 V^n=@CZT9C
可能的成因： +5R 8mbD!
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 =1! .g"0
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 ! ,b&e
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 `RU RC"
④ 氧化物充氧不够。 ;F%EW`7
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 '?NMQ
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 L9, GUtK{
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 j3+ hsA/(k
⑧ 环境湿度⼤ Q=[ IO,f
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 &"Cy&[
问题。 )`W|J%w+
改善对策： =)iAU/*N
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 E"/k"1@
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 3FO - 9H
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ /y UKUXi
燥、⼲净。 pxyFM@Z](
㈣改善环境 Edcv>}PfE
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 w_QWTD 0
㈥改善洗净、擦拭效果。 uz3 ?c6b
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） B'vIL '
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） ZN'B @E=p
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 r@'~cF]m
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
