膜外⽩雾 6
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现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 Xjio Z
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） Q7X3X,
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： SLfFqc+n0
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； E\nv~Y?SG
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 {nT^t Aha
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤ \dQ x+f& t
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ L6Wt3U`l
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重
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⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 <"D=6jqZ
⑦ 膜与膜之间的应⼒ Zk8 |K'oHx
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 8v Sse
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 >>i@r@
改善对策： bI)u /
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 8X|r4otn4
洁） 3@Z#.FV~C[
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 PQKaqv}N
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 0 [?ny`Y
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 E37<"(;
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 K_?W\Yg
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） |t
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㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 ~ 9)"!
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 G$0c '9d*(
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 oh "O07
膜内⽩雾 }]n$ %g (
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 @~c 6qh
可能的成因： -<v~snq'
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 e!Y0-=?nf#
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 jcNT<}k
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③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 iy.2A!f^.
④ 氧化物充氧不够。 :c9U>1`g&
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 3p2P=
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⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 ym e^b
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⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 ~c)~015`
⑧ 环境湿度⼤ DypFl M*
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 ay "'#[
问题。 b"!Q2S~
改善对策： *Bu UHjTv
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 \Y6WSj?E
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 c|F[.;cR
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ ,QzL) W7
燥、⼲净。 8Og_W8
㈣改善环境 )X9W y!w0
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 Y]]}*8
㈥改善洗净、擦拭效果。 ]EwVpvTw
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） b=~i ) `
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） >5s6u`\
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 H$G0`LP0/a
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
