膜外⽩雾 1jaK N*
现象：镀膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩雾，⽤丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。 +*aC
\4w
⽤氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻，（⼜称：可擦拭压克） |t~>Xs
分析：膜外⽩雾的成因较为复杂，可能的成因有： oa`7ClzD
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙； Gi*_ &
② 蒸发⾓过⼤，膜结构粗糙。 \p]B8hLW
③ 温差：镜⽚出罩时内外温差过⼤
b # Llu$
④ 潮⽓；镜⽚出罩后摆放环境的潮⽓ JU)k+ :\a
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时⽔汽过重 $I4Wl:(~}
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀 9n"MNedqH
⑦ 膜与膜之间的应⼒ * M$'dLn
改善思路：膜外⽩雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，⼀是把膜做的致密 5du xW>D
光滑些不容易吸附，⼆是改善环境减少吸附的对象。 .1_kRy2*.
改善对策： 0sB[]E|7[s
㈠ 改善膜系，外层加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善镜⽚出罩时的环境（⼲燥、清 D_`NCnYG
洁） ~=|QPO(d
㈡ 降低出罩时的镜⽚温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应⼒。 t J&tNSjTi
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜结构。 Lu5X~6j"$
㈣ 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 M5L /3qLh1
㈤ 离⼦辅助镀膜，改善膜结构 ^`Hb7A(
㈥ 加上polycold解冻时的⼩充⽓阀（其功能是及时带⾛⽔汽） 2IUd?i3~l
㈦ 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发⾓。 tf[)| /M
㈧ 改善基⽚表⾯粗糙度。 ,J:Ro N_:
㈨ 注意polycold解冻时的真空度。 t+{vb S 0
膜内⽩雾 xV=Tmu6l
⽩雾形成在膜内，⽆法⽤擦拭⽅法祛除。 ~R50-O
可能的成因： {<?8Y
① 基⽚脏，附着前⼯程的残留物 Y s&)5j-
② 镜⽚表⾯腐蚀污染 'S:$4j
③ 膜料与膜料之间、膜料与基⽚之间的匹配。 y*p02\)
④ 氧化物充氧不够。 1+YqdDqQ
⑤ 基⽚进罩前（洗净后）受潮⽓污染 0sT R`Xk
⑥ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹 2( m#WK7>F
⑦ 真空室脏、⽔⽓过重 aPQ xpK?
⑧ 环境湿度⼤ NFR>[L V
改善思路：基⽚本⾝的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本⾝最⼤的可能是膜料匹配 P%N)]b<c*
问题。 $g/h=w@
改善对策： sV \K[4HG
㈠改进膜系，第⼀层不⽤氧化锆类会产生白晕的膜料。 | 68k9rq
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备⼯作。 <XN=v!2;
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤⼀下，更换的护板等真空室部件必须⼲ F YK`.>L28
燥、⼲净。 /'b7 q y
㈣改善环境 FZLx.3k4
㈤妥善保护进罩前在伞⽚上的镜⽚，免受污染。 UM<s#t`\ 3
㈥改善洗净、擦拭效果。 U]@?[+I0]
㈦改善膜匹配（考虑第⼀层⽤Al2O3） [^^ Pl :+
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低） TwI'XMO;A
㈨加快前⼯程的流程。前⼯程对已加⼯光⾯的保护加强。 o?6m/Klw6
㈩抛光加⼯完成的光⾯，必须⽴即清洁⼲净，不能有抛光粉或其他杂质附着⼲结。
