北京纳米能源所制备自驱动光电双模全尺度压力传感阵列器件
近年来,随着移动互联网的快速发展,各种智能终端产品引起了人们广泛的关注。智能手环、智能眼镜和智能家具等各种具有传感和驱动功能的互连设备在物联网的帮助下实现了智能化识别和管理。它们不仅成为了一种丰富人们生活的时尚符号,也极大地给人们的生活带来便利。人们也相信这些产品将在未来人机互动、电子皮肤、健康医疗等领域有着新的应用和突破。作为其中一个重要组成部分,压力传感器的个性化设计及其高性能的获取变得尤其重要,以便满足实际应用的需要。尤其器件的压力灵敏度、测量极限以及压力测量范围是决定一个器件实际应用的关键因素。例如,日常生活中的手机的触摸平板,它能感知1 kPa以上的接触,并能够实现轨迹的再现成像。然而,很少有产品或者器件其对应的工作范围可以覆盖日常生活出现的从kPa到MPa压强范围。 ![]() 目前,虽然基于不同物理传导机制包括压阻、电容和压电的新型压力传感器在器件性能上有了重大的成就和突破,但是往往只能在一个有限的测量范围内工作。比如,大多数具有较高压力敏感性的基于压阻或者压电传导的压力传感器,能够探测类似声压、振动等超低的压强(< 1 Pa),但是往往它们的工作范围都比较小,基本收视低于10 kPa。相反,那些基于电容传导的压力传感器往往具有较大的工作范围,但它们的压力敏感性又不如压阻类的器件高。 |