先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 )8}k.t>'s
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 B~qo^ppVU
算出来的折射率再用来做设计。 8f)pf$v`
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 H_x}-
f O+lD
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 '/0e!x/8
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 }|[0FP]v
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 <ME>#,
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 f2SJ4"X
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 kX}sDvP3