先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 bDd$79@m
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 Vlb L
p;
算出来的折射率再用来做设计。 pl62mp!
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 {MX_t/o=f
;-84cpfu
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 47I5Y5
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 ONQp-$
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 XvBEC_xWZ
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 9D74/3b*
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 !M:m(6E1