先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。
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然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 %fnL
算出来的折射率再用来做设计。 {<o_6 z`$
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 3|8\,fO?
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我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 s6%% /|
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 u;H SX
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 lX/s Q
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 s"?Z jV)`
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 5Jh=${