先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 eyzXHS*s;L
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 [9;[g~;E%m
算出来的折射率再用来做设计。 E*vh<C
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 b:Tv
Ta
3(,c^F
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 5D <
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 HoO1_{q"
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 4g)$(5jI}
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 YM,UM>
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 lyzM?lK-