先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 "t%Jj89a\
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 Hm'aD2k
算出来的折射率再用来做设计。 W>(w&k]%B
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 ;r}yeISf
D"CU J?
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 TTGWOC
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 e2kW,JV/<$
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 3z% W5[E)
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 U+,RP$r@
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 (qzBy \\p