先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 C'_^DPzj
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 5 }pn5iI
算出来的折射率再用来做设计。 GmONhh(k
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 " 0:&x
n8L
eLvbPE_
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 YEbB3N
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 N>+s8L.?
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 3>+9Rru
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 =}$YZuzmU
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 G>>`j2:y