先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 * e,8o2C$
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 kbz+6LcV
算出来的折射率再用来做设计。 b7M )
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 =1B;<aZH!
Cq=k3d#}
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 +Sv2'& B
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 QE;,mC>
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 i2O$oHd
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 i"!j:YEo
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 1RQM-0W,