先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 x0A%kp&w
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 SfobzX}~Jh
算出来的折射率再用来做设计。 '+I
2$xE
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 3d'ikkXK
a^T4\
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 i5<Va@ru!s
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 <oaBh)=7
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 N"x\YHp
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 FJ%R3N\
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 !bV(VRbu