[讨论]关于500-1000波段增透膜的几点疑问 [复制链接]

宽波段要求达到0.5%以下剩余反射其实要求算是较高的，膜系设计有一定的难度，主要是误差的影响会很大，对机台的要求会更严格，从设计上，从工艺上如何降低误差的影响是关键。

说的太高省

先做厚一点的单层（越厚越好），测分光曲线。 k'|
yUJ,  
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 b(R.&X  
算出来的折射率再用来做设计。 "|dhmV[;  
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 '6){~ee S  
U`EOun,  
我以前做的380～800 反射率不超过0.3%。 xrBM`Bj0@  
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 bcy  
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽，越好做。 X)iI]  
但是折射率高的话，就需要用到好的离子源。 |O>e=HC#q8  
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 k*6"!J%A  

用麦克劳德算了一下，用TiO2,SiO2,最后一层用Mgf2 2bw), W  
400~1000 全部在0.5%以下，12层可以实现。 >0ZG&W9  
这个还是用软件算的，人工调整的话我觉得10层以内应该可以做到。