先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 L}h?nWm8
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 S`8
h]vX
算出来的折射率再用来做设计。 N|O/3:P<,U
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 IiHl"2+/
94=Wy-
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 >)=FS.?]
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 *TfXMN?w
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 @.yp IE\
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 Y#V`i K
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 :7KcD\fCj