工作压强范围(Pn-Pm):泵能正常工作的压强范围 3:XF7T
几种常用真空泵的工作压强范围: '9+JaB
旋片机械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 扩散泵100-10-5pa 涡轮分子泵101-10-8pa 溅射离子泵100-10-10pa 低温泵10-1-10-11pa +ti_?gfx
几种常用真空泵的工作原理 c /G4@D>
l 旋片机械泵 [=})^t?8
工作过程是: 吸气—压缩—排气。 &.zG?e.
定子浸在油中起润滑,密封和堵塞缝隙的作用。 zJH#J=O
主要参量是: 抽速和极限压强。 \lJCBb+k
由于极限压强较高, 常用做前级泵(预抽泵)。 "h-G=vo,kl
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旋片式机械泵 @2LpI*]C
l 油扩散泵 m+t<<5I[-
工作过程是:油蒸发—喷射—凝结,重复循环 [O"9OW'2!B
由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500),故能有效地带走气体分子。 "G^Z>Z-`
扩散泵不能单独使用,一般采用机械泵为前级泵,以满足出口压强(最大40Pa),如果出口压强高于规定值,抽气作用就会停止。 00?_10x)
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1. 水冷套; 2. 喷油嘴; 3. 导流管;4. 泵壳; 5. 加热器 ps DY}y\"
l 涡轮分子泵 jf`QoK
工作过程是:高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 H%L oI)w
优点:无油,洁净,启动快,制动快,可忍受大气冲击。 "~1{|lj|)
缺点:由于高速旋转,不能在磁场中使用,否则会产生涡流,导致叶轮发热、变形等严重后果,对氢气等轻质气体抽速较小, 价格昂贵。 @B@`V F
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1. 动叶轮;2. 泵壳;3. 涡轮排;4. 中频电动机;5. 底座; r~K5jL%z9
6. 出气口法兰;7. 润滑油池;8. 静叶轮;9. 电机冷却水管. KI@OEy
真空镀膜 ")'9:c
n 真空溅射:当高能粒子(电场加速的正离子)打在固体表面时,与表面的原子、分子交换能量,从而使这些原子、分子飞溅出来。 #%~PNki
n 真空蒸发:在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发,使其淀积在适当的表面上。 DLigpid
n 真空蒸发镀膜简介 @O!BQ^'hk#
l 真空系统(DM—300镀膜机) ~HFqAOr
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真空系统(DM—300镀膜机) 7s2 l 3
l 蒸发系统 <}\!FuC
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蒸发系统 FZt a
l 蒸发源 w$XqxI/&
蒸发源的形状如下图,大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。 Jv,*rQH
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蒸发源 x1@`\r#0
n 膜厚的计算
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在真空中气体分子的平均自由程为:L = 0.65 / p (cm),其中p的单位是Pa。当p = 1.3×10-3 Pa时,L≈500 cm。L>>基片到蒸发源的 距离,分子作直线运动。 pR3@loFQ`o
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设蒸发源为点蒸发源,单位时间内通过任何方向一立体角dω的质量为: \aEarIX#*
蒸发物质到达任一方向面积元ds质量为: $
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设蒸发物的密度为ρ,单位时间淀积在ds上的膜厚为t,则: 比较以上两式可得: IL]Js W
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