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    [求助]镀膜色斑问题 [复制链接]

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    离线pathoptics
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-12-04
    球面平凸透镜镀增透膜，透镜直径36mm,  曲率半径173mm,  R<0.5 @1550+/- 40nm，  膜料Ta2O5 + SiO2，烘烤温度250，成都南光机。 Bq l 5=p  
    ?(t{VdZSzQ  
    相同的镀膜参数， 镀10批次有1-2批次出现大比例膜层色斑，有时刚镀完取出没有色斑放置2天后出现色斑，有时刚镀完有色斑放置几天后色斑减淡或消失。 出现色斑批次的光谱曲线和膜层牢固度都正常。 &N+,{7.  
    z1K}] z%  
    已排除了基片本身污染，真空腔内污染，离子源和膜料问题。 OI8Hf3d=  
    Q5ZZ4`K!  
    请问导致膜层色斑的可能原因还有哪些？
     
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    离线pathoptics
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-12-05
    没有回应，自顶一下
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    离线sgh920
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-12-29
    是色斑还是色环，若是色环就应该是均匀性问题。希望帮到你
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    离线pathoptics
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-01-14
    谢谢sgh920，是色斑不是色环，已确认过均匀性OK。此问题不定期出现，有时间隔1-2个月，在1-2炉上出现，就像幽灵一般。
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    离线081023
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-02-01
    应该是膜料成膜的致密性造成，现象和你说的一样，完全没规律。而其根本原因是设备，不知你是用的哪家南光。 )5j1;A:gr  
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    离线hyping518
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-03-04
    很是深奥啊
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    离线jiangguang
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-03-10
    预熔充分  看看还有没有  还有充氧的位置  氧气的纯度等等 都是一些细节方面 慢慢排查  
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    离线西北风
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-09-17
    现在还出现吗？如果没有可联系我 QQ2860598589
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