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[求助]如何计算Tooling值 [复制链接]

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离线jack1yzhong

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2014-07-14

请教各位老师如何计算Tooling值,非常感谢!!!!!!!

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离线a85221312

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只看该作者 1楼发表于: 2014-07-15

求老师提点下。。。

离线fly6947

助理工程师

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只看该作者 2楼发表于: 2014-07-29

镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度
镀的厚度除以物理厚度就是tooling

比如，我镀单层MGF2 1200A 优化物理厚度100nm

那么tooling=1200/(100*1000)

离线pyykun

助理工程师

发帖: 486

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只看该作者 3楼发表于: 2018-02-27

谢谢指教＠！

离线harryzeng

发帖: 47

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只看该作者 4楼发表于: 2018-02-27

回 fly6947 的帖子

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 .J~iRhVOF
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2 1200A 优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47) b=QO^

谢谢指教

离线kkjzkkjz

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只看该作者 5楼发表于: 2018-03-05

回 fly6947 的帖子

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 eJ%~6c`@!
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2 1200A 优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47) *u7C){)gr[

对应该是个修正因子的意思吧

离线gaofei555

发帖: 86

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只看该作者 6楼发表于: 2024-08-20

回 fly6947 的帖子

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 <LZvG IMl
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2 1200A 优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47) #dW$"u

谢谢指教

离线renlgj

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只看该作者 7楼发表于: 2024-08-22

谢谢一楼