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    [求助]镀膜粉尘问题 [复制链接]

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    离线光明世界
    工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2014-05-28
    镀膜粉尘来源： S+>&O3m  
    b7R#tT  
    1.来自抽气时造成扬尘。 /{YUM~  
    @z"Zj 3ti  
    2.来自泄气时造成扬尘。 ;OQ-T+(T  
    SF+ ^dPwj  
    有什么能够改善。特别是镀塑料的东西，镀膜后又没用清洗。头疼
     
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    离线hrhhrh
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    只看该作者 1楼 发表于: 2014-06-03
    1.清洁真空室 yd "|HHx  
    2.改排气 _tL+39 u  
    3.改进气
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    离线leehow534
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    只看该作者 2楼 发表于: 2014-06-04
    SRV,SVV时间加长可有效改善。 \|R`wFn^P  
    另，你的盒子干净否？
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    离线yangyangyang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2014-06-17
    1，产品上镀前用静电枪除尘 DBCL+QHA  
    2，对腔室护板进行清洁或更换 ""D rf=]  
    3，电子枪或阻蒸进行清洁 Uvf-h4^J]:  
    4，设备加装离子源（霍尔R2型，或APS都行，关键看你做的产品工艺及客户要求，要求不高国内的离子源也可以） ?jw)%{iKYV  
    5，检查你们的无尘室洁净度是不是真的在控制范围内 6e  |  
    6，检查你下面的作业人员，无尘服是不是很脏 ./#K@V1  
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    离线meron
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-05-06
    学习了，谢谢各位
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