luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了，tooling=100/80
(2020-03-19 16:09) 
@UQ421Z`
qP oN 8>. 晶控仪比例因子(tooling)定义中，分子分母很容易记混。
m^gxEPJK 定义
SFR <T T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
\>[k 0< 修正时
e I, H T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
) fQ1U _F},Wp:Oh 呵呵，膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子（tooling）旁边，提醒。
6 u>]-K5 DM,)nh6' 另一个容易记混的，调大比例值，样品膜层厚度会变薄 不是变厚，其实代入式子2就会知道。
Y.kgJ #2 反过来说，
6/6{69tnr 如果发现波长长了，即样品膜层厚了，比例要调大（如果仅仅是比例因子的问题的话）。
Z rv:uEl 如果发现波长短了， 薄 小 。
