luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
;<*%BtD?
wA"d?x 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
`H q*l"8 定义
0|]d^bo T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
cE>m/^SKr 修正时
Ljiw9*ZI T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
g{
;OgS3> N{}8Zh4op 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
'BUfdb8d Nobu=
Z 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
4\ |/S@. 反过来说,
q{%~(A5*H 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
;W|GUmADf 如果发现波长短了, 薄 小 。