luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
0"k|H&
[t]X/O3< 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
vm23U^VJ 定义
*DI)? T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
xh@-g|+g 修正时
!7B\Xl'S T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
wt}9B[ g\A
y`.s 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
0\{BWNK "](6lB1Oe 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
>ndJNinV 反过来说,
Wk;5/ 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
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kYW%3s 如果发现波长短了, 薄 小 。