luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
g5\B- 3{
)ISTb 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
h:90K 定义
OaWq8MIZ- T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
A+8b]t_k 修正时
*r3vTgo$ T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
["/x~\c'N ri`|qy6! | 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
e:R[ 06;{2&ju< 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
!IU*Ayg 反过来说,
4(IP 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
yp/*@8%_E 如果发现波长短了, 薄 小 。