luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
IT,TSs/Y
Md \yXp 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
ZQT14. $L 定义
xw*T?!r=V T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
x%ZgLvdp, 修正时
U!:Q|':=h T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
8&6h() `;7^@ k 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
:X>%6Xj?RV SRl:+!@. 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
Azx4+`!- 反过来说,
Epm\=s 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
DLYk#d: q? 如果发现波长短了, 薄 小 。