luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
IC$"\7
@
\FCPD.2s+ 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
]y$/~(OW 定义
q%]5/.J T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
"Z&_*F.[O 修正时
E0!0 uSg& T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
_o+OkvhU N6S@e\* 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
=0;njL(7; **1=|aa: 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
GH3RRzp r 反过来说,
ka(3ONbG 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
Y(T$k9%}+ 如果发现波长短了, 薄 小 。