luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
+;N2p1ZBf
bF"G[pD 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
m'6&9Jak 定义
h]5C|M| T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
A: 5x| 修正时
q Gw -tPD< T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
C":32_q ^S UPi 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
>VP=MbN "$ Y_UJT7 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
'=nQ$/!q 反过来说,
K1r#8Q!t 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
dZ rAn 如果发现波长短了, 薄 小 。