luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
]L_w$ev'
H3/caN: 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
H:&?ha,9 定义
UV7%4xM5v T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
dXvt6kF 修正时
YZ}cB T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
TvhJVVQ+? $r.U 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
*b(wVvz 6Y*;{\Rd 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
T`YwJ6N 反过来说,
Jn}n*t3 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
0NE{8O0;Fr 如果发现波长短了, 薄 小 。