luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
4^<?Wq~
]6j{@z?{ 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
w,D+j74e$ 定义
Zv{'MIv&v T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
Wx#;E9=Im 修正时
~wdGd+ez T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
(/$^uWj }x,S%M- 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
{{!-Gr {M)Nnst"~ 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
Q/Rqa5LI: 反过来说,
%BQ`MZ 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
uXiN~j &Be 如果发现波长短了, 薄 小 。