luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
(vm&&a@
Rk2V[R.`S 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
ji(W+tQ2Y' 定义
&V7@ TZ T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
QjH;'OVt 修正时
:TU;%@7 T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
,]?Xf> ,L#Qy>MOb 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
8Xpf|?. !g}?x3 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
tydD~a 反过来说,
%VG;vW\V 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
Le3H!9lbc 如果发现波长短了, 薄 小 。