luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
Mb2a;s
lwX9:[Z 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
OU7OX]h 定义
aC2Vz9e T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
Z40k>t
D 修正时
JseKqJ?g T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
S1^/W-yoc~ gU+yqT7= 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
;X+tCkzF DCiU?u~ 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
,Ohhl`q( 反过来说,
]rj~3du\ 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
0vfMJzk 如果发现波长短了, 薄 小 。