luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
se]q~<&
p0b MgP 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
/gUD!@ 定义
z]33_[G1U T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
m{{8#@g 修正时
_X"G( T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
60Szn]z'8[ ZT1IN6;8W 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
2|:xb9# jTE~^ 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
S :%SarhBD 反过来说,
[)KLmL% 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
V0)F/qY 如果发现波长短了, 薄 小 。