luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
Q__1QUu
R<1[hH9"o 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
[kZe6gYP& 定义
QBT_H"[ T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
+'?axv6e 修正时
z^9df( T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
t`A5wqm mg4:N 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
3 jay V _l.kbfp@ 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
ZlYb8+rW 反过来说,
*:V"C\`^n 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
lD)QB!*v 如果发现波长短了, 薄 小 。