luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
t
Rm+?
-tLO.JK< 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
"& 25D 定义
)8,|-o= T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
I:l01W; 修正时
~F!,PM/ T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
$IX\O ldqLM 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
n V&cC t;NV $!! 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
' cIEc1y 反过来说,
h8{(KRa 6 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
O_~7Glu 如果发现波长短了, 薄 小 。