luffy17520:设计镀100nm 实际只有80nm 那就镀少了,tooling=100/80
(2020-03-19 16:09)
YDNqWP7s
,Mhe:^3 晶控仪比例因子(tooling)定义中,分子分母很容易记混。
@gqw]_W 定义
N#u8{\ |8] T = 样品膜层厚度/晶控膜层厚度 * 100%
|tg?b&QR 修正时
b66X])+4jE T2 = T1 * 样品膜层厚度/设计厚度
sv;zvEn;-L +r0eTP=zf 呵呵,膜林晶控仪把这两个式子印在材料参数的比例因子(tooling)旁边,提醒。
f)zg&Ib ya{>= 另一个容易记混的,调大比例值,样品膜层厚度会变薄 不是变厚,其实代入式子2就会知道。
}R1`ThTM 反过来说,
YSV,q@I&1 如果发现波长长了,即样品膜层厚了,比例要调大(如果仅仅是比例因子的问题的话)。
2*citB{ 如果发现波长短了, 薄 小 。