可用晶振片 6MHz D%Pq*=W
频率范围 5MHz~6MHz, trgj]|?M
频率分辨率 0.005Hz ze,HNFg@>
频率稳定度 1ppm `wk#5[Y_
膜厚分辨率 0.002A )+cP8$n6L
测量更新率 10Hz wl5!f|
材料数 112 3G5i+9Nt.L
膜系数 20, 可自动串接 z@<`]
可设定层数 112层/每膜系 M;3uG/E\
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit 0XXu_f@]9
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 CS6,mX
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 bU_9GGG|
探头数 1,支持六探头 X "1q$xwc
电源 90V~240V,AC, 20W Ibpk\a?A{
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) /r}t
控制方法 PID BnAia3z
语言 多国语言(中、英、…)
]km8M^P
通信接口 RS232