可用晶振片 6MHz *I9O63
频率范围 5MHz~6MHz, %xXb5aY
频率分辨率 0.005Hz kK&AK2
频率稳定度 1ppm $7O3+R/=
膜厚分辨率 0.002A '~{kR=+
测量更新率 10Hz r0<zy_d'
材料数 112 Fbw.Y6
膜系数 20, 可自动串接 R_80J=%0
可设定层数 112层/每膜系 =+VDb5= TV
可控制蒸发源数 3个, 0~10V, 16bit }+:X= @Z@
数字输入 8路兼容LVTTL,功能自定义 5sB~.z@
数字输出 10路常开继电器,功能自定义 ayg^js2,
探头数 1,支持六探头 gP!k[E,Q8
电源 90V~240V,AC, 20W Kciz^)'Z
主机尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,标准工业机柜宽, 2U高度, 深300mm) a 4?c~bs
控制方法 PID eV9,G8
语言 多国语言(中、英、…) 0\1g-kc!v
通信接口 RS232