光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等

本公司美国光刻图形发生器利用光刻正胶或负胶，在感光板上制作用于加工集成电路的高精度、高品质掩膜版，也可根据需求制作优质的光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等精密光学零件的母板和任意图形。 VQ?H:1R  
光刻机性能参数： 4)iEj  
      可加工最小线宽：    直接光刻 2.5 微米；重复步进  1 微米 $cOD6Xr)d  
      最大加工范围：      152毫米 ×  220毫米 <u?hdwW\  
      定位精度：            0.38微米 I=%sDn  
      最小可控制增量：    0.1微米 (bt]GAxb1  
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