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测量平行表面面形，不对后表面进行处理 由于平行度比较好，如果直接使用干涉仪测量，一般会看到两套条纹，一套是被测表面的面形条纹，一套是前后表面自相干的条纹（如图1左）。为了消除自相干条纹的影响，一般都是对后表面做些处理，比如涂凡士林、橡皮泥或淋乙醇等；这样才能消除或抑制后表面对前表面的干涉。但是对于某些特殊材料，采用这类手段或造成表面污染，或改变表面的状态，因而不适用。因此需要采用其它方法来消除平行表面间的条纹干扰。  图1不仅如此，FizCam2000还可以透过前表面测量后表面，当然，这种测量结果中也包含了前表面的面形误差和材料的不均匀性。 图2是个平行薄片的测量图  图2 右侧是Fizcam2000的输出瞳，镜头为标准平面镜；中间为状态调整架上的平面薄片，可以看到薄片上有做标记的文字；左侧为装在夹具上的标准反射镜 在测量时，可以看到有两个反射信号分别代表样品前后表面的反射（图3）  图3平行薄片前后两个表面的反射，移动红色标线，就可选择干涉面前表面的面形（图4）和透过前表面测得的后表面面形（图5）。图5中间可以隐约看到标记文字的印痕。  图4  关键词： 干涉仪
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