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    [分享]光刻机照明系统设计 [复制链接]

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    离线hhxxgg00
    论坛版主
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2013-04-02
    随着微电子产业的迅猛发展，我国迫切需要研制极大规模集成电路的加工设备-光刻机。曝光波长为 193nm 的投影式光刻机因其技术成熟、曝光线宽可延伸至 32nm 节点的优势已成为目前光刻领域的主流设备。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向，对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。 Hd,p!_  
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    CAJ文件 fH)YFn/  
    长光机博士论文 Fd#m<"  
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    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
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    离线faithfulkiven
    实习生
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    只看该作者 194楼 发表于: 前天 11:17
    想学习一下新技术
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    离线watsons
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    只看该作者 193楼 发表于: 08-02
    参考学习，谢谢分享
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    离线leopard660
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    只看该作者 192楼 发表于: 07-31
    博士论文知识还是有点深
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    离线janmy
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    只看该作者 191楼 发表于: 07-30
    顶起来！
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    离线学习冠军
    实习生
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    只看该作者 190楼 发表于: 05-11
    请教学习一下
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    离线xiaoyu52152
    助理工程师
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    只看该作者 189楼 发表于: 2025-10-13
    厉害厉害
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    离线songz4922
    实习生
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    只看该作者 188楼 发表于: 2025-09-26
    长光机博士论文
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    离线绿绿
    实习生
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    只看该作者 187楼 发表于: 2025-09-01
    看一看
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    离线pigpig
    工程师
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    2030
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    只看该作者 186楼 发表于: 2025-08-31
    谢谢分享xxx
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