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    [分享]光刻机照明系统设计 [复制链接]

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    离线hhxxgg00
    论坛版主
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2013-04-02
    随着微电子产业的迅猛发展，我国迫切需要研制极大规模集成电路的加工设备-光刻机。曝光波长为 193nm 的投影式光刻机因其技术成熟、曝光线宽可延伸至 32nm 节点的优势已成为目前光刻领域的主流设备。照明系统是光刻机的重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向，对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。 B C&^]M  
    1 pYsjo~  
    CAJ文件 M, Po54u  
    长光机博士论文 oPE.gn_$  
    附件设置隐藏，需要回复后才能看到
     
    这个时代，每个人都在大声说话，每个人都在争分夺秒。我们用最快的速度站上高度。但是也在瞬间失去态度。当喇叭声遮盖了引擎声，我们早已忘记，谦谦之道才是君子之道。你问我这个时代需要什么，在别人喧嚣的时候安静，在众人安静的时候发声。不喧哗，自有声。
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    离线绿绿
    实习生
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    只看该作者 187楼 发表于: 09-01
    看一看
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    离线pigpig
    工程师
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    只看该作者 186楼 发表于: 08-31
    谢谢分享xxx
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    离线raja
    技术员
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    只看该作者 185楼 发表于: 07-15
    下来学习一下
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    离线z6hong
    技术员
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    只看该作者 184楼 发表于: 07-04
    学习学习
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    离线街灯以北
    实习生
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    只看该作者 183楼 发表于: 03-06
    顶一下
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    离线ioash
    实习生
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    只看该作者 182楼 发表于: 03-03
    好资料，学习一下。
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    离线ning_1
    助理工程师
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    只看该作者 181楼 发表于: 03-03
    刚好在做均匀照明，学习学习 hv_pb#1Ks  
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    离线zzzzzzc
    实习生
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    只看该作者 180楼 发表于: 02-27
    长光所，顶一下
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    离线旺旺雪饼
    实习生
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    只看该作者 179楼 发表于: 01-18
    看一看
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