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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 >:OOuf# 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 Q=e?G300#L 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 gl]{mUZz} 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 iY;)R|6 ....... (2013-11-21 15:53) y9W*/H{[`
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