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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 uZKr 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 D'DfJwA 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 bwMm#f 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 ;$wVu|& ....... (2013-11-21 15:53) N5 6g+,w%)
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ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 j*r{2f4Rt 一般都是镀AR膜 9层以内。这两天镀几罩14层的IR-CUT,感觉坩埚盖板上的附着物很多,还有翘起的情况。 Q*ft7$l& 现在担心膜层镀的再多的话,会不会有附着物掉到坩埚里的情况,造成崩料。 3AN/ H ....... (2013-12-10 10:50) s|r3Gv|G
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