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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 o.j;dsZ 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 Uvz9x"0[u 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 w|$;$a7) 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 rfCoi>{< ....... (2013-11-21 15:53) A 7TP1
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ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 5f}wQ 一般都是镀AR膜 9层以内。这两天镀几罩14层的IR-CUT,感觉坩埚盖板上的附着物很多,还有翘起的情况。 ;-U:t4 现在担心膜层镀的再多的话,会不会有附着物掉到坩埚里的情况,造成崩料。 <C]s\"o-` ....... (2013-12-10 10:50) x!gu&AA<*
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