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luffy17520:大机器有2中修正板，一种是基板左右的，每次做单腔来调整，还有就是基板挡板换成修正板，同理。 Jiljf2h 大机器还有离子源修正板，这个比较简单。 Vn-y<*np 小机器为左右挡板，试验原理也是单腔 }Q?, O 波长长了就修掉一点，让ibs多多轰击即可 @exeHcW 61 ....... (2013-11-21 15:53) x 2\ ,n
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ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 yx0wR 一般都是镀AR膜 9层以内。这两天镀几罩14层的IR-CUT，感觉坩埚盖板上的附着物很多，还有翘起的情况。 in-|",O`Z 现在担心膜层镀的再多的话，会不会有附着物掉到坩埚里的情况，造成崩料。 &B1j,$NRc ....... (2013-12-10 10:50) 'q3<R%^Q
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