[分享]本人用光驰的NBPF和OTFC机器多年，有啥问题我们交流交流 [复制链接]

luffy17520:大机器有2中修正板，一种是基板左右的，每次做单腔来调整，还有就是基板挡板换成修正板，同理。 )\uy 0+b  
大机器还有离子源修正板，这个比较简单。 ?Z]}G  
小机器为左右挡板，试验原理也是单腔 ?x@BZe  
波长长了就修掉一点，让ibs多多轰击即可 ..7"&-?g{4  
....... (2013-11-21 15:53)  U<eVLfSij  

ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 Sk;IAp#X9  
一般都是镀AR膜  9层以内。
这两天镀几罩14层的IR-CUT，感觉坩埚盖板上的附着物很多，还有翘起的情况。 Vaq=f/  
现在担心膜层镀的再多的话，会不会有附着物掉到坩埚里的情况，造成崩料。 8 
(.<  
....... (2013-12-10 10:50)  g4Hq<W"