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luffy17520:大机器有2中修正板,一种是基板左右的,每次做单腔来调整,还有就是基板挡板换成修正板,同理。 ni<[G0#T 大机器还有离子源修正板,这个比较简单。 50*@.!^* 小机器为左右挡板,试验原理也是单腔 [1U{ci&=p 波长长了就修掉一点,让ibs多多轰击即可 yuv4* ....... (2013-11-21 15:53) NN mM#eB:4
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ken_jinyan1:我公司现在使用的机器是光驰GENER1300 xG w?'\ 一般都是镀AR膜 9层以内。这两天镀几罩14层的IR-CUT,感觉坩埚盖板上的附着物很多,还有翘起的情况。 }PmTR4F!} 现在担心膜层镀的再多的话,会不会有附着物掉到坩埚里的情况,造成崩料。 1OP"5f ....... (2013-12-10 10:50) Z)5klg$c
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