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[分享]150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 [复制链接]

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离线菲索干涉

助理工程师

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2012-07-13

菲索干涉仪器球面标准镜参考文献，很不错的说。

摘要：在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求, 设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷( PV)值仅为9. 6nm , 均方根( RMS) 值为2. 1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。

关键词：应用光学；菲索干涉仪；标准镜；镜面支承；有限元法