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[求助]有没有可能在一块玻璃基底上分区镀膜 [复制链接]

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离线zmyaction

发帖: 29

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2011-12-31

求教：
       把一块玻璃基底的一个光学表面划分为左右两部分（不是物理切断），两部分分别镀膜，比如左边镀A膜,右边镀B膜，并要求A膜与B膜过渡间隔<50um.
       能不能，或者有什么办法可以做到呢？
       用机械挡可以吗？我担心膜料原子在基底表面的迁移运动会扩散到遮挡物下面，致使两膜层间隔模糊不清，并且过渡间隔将远大于50um。
       不知有没有朋友有更好的建议。

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离线12511895

助理工程师

发帖: 247

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只看该作者 1楼发表于: 2011-12-31

你要镀的是什么膜啊？？能不能说说啊！！！才能回答你的问题啊！！！两者之间的镀膜要求啊！！

离线lsx2525

发帖: 9

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只看该作者 2楼发表于: 01-28

用掩膜应该可以做。但是掩膜和基片之间的距离要尽量的紧贴。

离线yzhuang

发帖: 126

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只看该作者 3楼发表于: 02-05

这么高的要求，没做过，镀两种膜是做过的，但是允许误差是1毫米左右的。

车靠加油，方能行得更远；人凭学习，才会变得更精！

离线伏龙之

发帖: 14

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只看该作者 4楼发表于: 02-25

先镀A膜，涂一般加50NM的光刻胶后再刻蚀，再镀B膜再刻蚀

离线r58001105

发帖: 34

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只看该作者 5楼发表于: 02-28

有方式可以達到你的要求,而且線寬可以更小,但是要看你的後援
因為我曾經在同一片玻璃上鍍4~5種膜,但是加工程序很花錢

离线天涯若比

发帖: 8

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只看该作者 6楼发表于: 04-27

楼主具体想做哪两种？可联系QQ:277955946，可以给你试试。