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    [下载]激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2 [复制链接]

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    离线chenchao
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-12-18
    关键词： 磁控溅射激光扫描退火
    激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2摘要：用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的 Si (100)衬底上沉积 Fe 膜 ,随后采用脉冲激光扫描进行退火 ,X 射线衍射(XRD) 和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响。测量结果证实直接形成了 Fe2Si 化合物系的富硅高温相α 2FeSi2 ,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高。 L=5Fvm  
    dE|luN~  
    关键词：磁控溅射；激光扫描退火；结晶性质；显微结构
    附件: 激光扫描磁控溅射Fe_Si膜直接形成_FeSi_2.rar (542 K) 下载次数:2 ，售价:2光币[记录]
     
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