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    求微光学制造（使用半导体加工工艺）方面的书籍 [复制链接]

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    离线liongo
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2011-07-14
    关键词： MEMS二元光学
    本人对光学基本一窍不通，但是因为需要把衍射光栅集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光学/二元光学的制作工艺。 U$a)lcJd  
    因为器件都集成在硅上，所以特求使用半导体/MEMS工艺制作工艺在微光学方面的书。 GpXf).a@  
    fWfhs}_  
    其中灰度光刻是制作微光学结构的一个很好的方法，当然还有很多微纳加工的工艺方法。 >yVrIko  
    望涉猎此行的同仁不吝赐教，帮忙推荐或者开导。 x?0(K=h,  
    u\xrC\Ka  
    谢谢！
     
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    离线liongo
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2011-07-14
    回 楼主(liongo) 的帖子
    希望侧重于工艺方面的，理论基本不懂的； !.@:t`w  
    如果有从事MOEMS工作望交流交流
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    离线warwalwjq
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2011-07-27
    感兴趣
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    离线song516
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2013-01-08
    学习学习
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    离线zhangce_xp
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    只看该作者 4楼 发表于: 2013-01-09
    我也是迫切想知道MEMS的工艺啊，尤其是一些封装啊
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